>卡盤XY移動(dòng)平臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)配置）
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XY行程范圍 |
300 mm x300 mm (12"x12") |
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XY最佳行程 |
300mm x 300 mm（滿足大范圍行程測(cè)試） |
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移動(dòng)精度/分辨率 |
< 1.0 μm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev) |
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平面性 |
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theta行程 |
粗調(diào)：360° |
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運(yùn)動(dòng)控制 |
氣控+無(wú)牙螺母控制 |
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Z軸升降 |
快速升降：3mm |
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微調(diào)升降：0-13mm,精度：≤2μm |
>針座平臺(tái)
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材料 |
鋼鍍鎳 |
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尺寸 |
見產(chǎn)品尺寸介紹第8頁(yè) |
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最大針座數(shù)量 |
8 DC and 4 RF(取于針座配置) |
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卡盤到針座平臺(tái)下底面最佳距離 |
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Z-height運(yùn)動(dòng)范圍 |
Max.0-40mm (取于卡盤配置) |
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Separation lift |
3段：分離(300μm)，Load裝載(5mm),不間斷升降（0-40mm) |
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接觸重復(fù)性 |
< ±1μm (0.08 mils) |
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RF 針座固定 |
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DC 針座固定 |
磁力吸附/真空吸附 |
